科研团队

王海玲


王海玲,博士,副研究员

主要致力于半导体激光器与阵列、硅基片上集成激光器与阵列、光波导及硅光子集成芯片的理论模拟、设计、工艺制备与测试。作为骨干人员参与多项国家重点研发计划、973项目、863项目、自然基金委项目,主持国家自然科学基金青年基金1项,现为主持中科院先导B计划项目1.1子课题负责人。

目前成功设计制备出C波段8通道波长间隔100GHzInP基单片集成激光器阵列、 C波段4通道波长间隔100GHz的硅基片上集成激光器阵列,研究设计了CMOS工艺兼容的硅基光源及光子集成芯片,建立了半导体激光器、硅基激光器的工艺流程,解决了工艺中的关键技术问题如SOI/III-V半导体材料的异质晶片键合与集成、干法刻蚀等。

相关领域发表学术论文30余篇,参与撰写专著2章节,申请专利18项,授权10项,指导学生多名。曾获2018年度中国专利金奖,2017年度国家技术发明二等奖,2017年度光学工程学会技术创新一等奖获,2013年度北京市科学技术二等奖。

主要研究方向:

1)半导体激光器与阵列,硅基片上集成激光器与阵列的理论设计、工艺制备和封装测试。

2)硅光(电)子集成芯片理论设计、工艺、测试与异质晶片键合与集成技术。

联系方式:

Email: hlwang07@semi.ac.cn电话:010-82305470

主持与参加的项目/课题:

1. 中科院先导B专项 “大规模光子集成芯片”的1.1子课题“多波长激光器阵列研究”,XDB24010100,2016.06-2021.06,775.32万元,在研,子课题负责人。

2. 国家自然基金委青年基金项目“基于光子晶体结构的新型混合Si/III-V激光器特性研究”,61307033,2014.01-2016.12,28万元,已结题,主持。

3. 863项目“人工微结构半导体激光器研究”,2013.01-2015.12,112万元,已结题,参与。

4. 国家自然科学基金重点项目“相干大功率面发射半导体激光列阵的相关机理及应用技术”,61234004,2013.01-2017.12,310万元,已结题,参与。

5. 自然基金委重点基金项目“高性能微结构半导体激光器研究”,61137003,2012.01-2016.12,270 万元,已结题,参与。

6. 国家重点研发计划项目“面向高性能计算机超节点的关键微纳光电子器件及其集成技术研究”中课题1“微纳结构硅波导输出混合集成激光器的研究”,2012CB933501,2012.01-2016.08,713.7 万元,已结题,参与。

7. 863项目“光互连芯片中微腔原理、核心器件研究”,2012AA012202,2012.01-2014.12,249万元,已结题,参与。

8. 国家自然科学基金杰青项目“基于人工微结构的高光束质量半导体激光器研究”,61025025,2011.01-2014.12,200万元,参与。

代表性论文:

(1) Hailing Wang, Wanhua Zheng*, A Single Mode Hybrid III-V silicon on-chip Laser based on Flip-chip Bonding Technology for Optical Interconnection, Chin. Phys. Lett.,2016, 33(12):124207

(2) Mingjin Wang#, Hailing Wang#, Pijie Ma, Fengxin Dong, Anjin Liu, and Wanhua Zheng*, Eight-channel laser array with 100  GHz channel spacing based on surface-slotted structures fabricated by standard lithography,  Opt. Lett., 2018, 43(20): 4867~4870

(3) Wang Hailing, Zhang Yejin, Feng Peng, Qu Hongwei, Zheng Wanhua*, Investigation on the Si-Based Hybrid Integrated Micro-Structured Laser with Silicon Waveguide Output for Silicon Photonic IntegrationLaser &Optoelectronics Progress, 2014, 51(11): 110007

(4) Hailing Wang, Mingxin Xing, Gang Ren, Wanhua Zheng*, Inductively coupled plasma etching in fabrication of 2D InP-based photonic crystals, J. Vac. Sci. Technol. B, 2009, 27(3): 1093~1096

(5)Yejin Zhang, Hailing Wang, Hongwei Qu, Siriguleng Zhang, Wanhua Zheng*, Slotted hybrid III-V/Silicon single-mode laser, IEEE Photonics Technology Letters, 2013, 25(7): 655~658